薄膜设备、光刻机以及刻蚀机被称为半导体设备“三部曲”,占据整个半导体设备行业60%以上的市场份额,整个产业的空间价值在1000亿人民币以上。
相较于光刻机以及刻蚀机,不少用户对于薄膜设备这一概念比较陌生。作为芯片检测的关键设备,虽然薄膜设备鲜为人知,但其重要性却不容小觑。
根据原理进行分类,薄膜生长设备共分为化学气相沉淀(PVD)以及物理气相沉淀(CVD)两大类。
资料显示:2020年全球薄膜生长设备的市场规模为138亿美元,约合人民币893亿元。其中CVD市场规模约为89亿美元(约576亿元);PVD市场份额约为30亿美元(约194亿元)。
中国对于薄膜生长设备的需求占约为26.2%,也就是说2020年国内薄膜生长设备的市场规模约为240亿元人民币。
遗憾是的,中国如此庞大的薄膜生长设备市场却被外资严重垄断。全球95%的市场被瓜分,薄膜生长的国产化率不足10%。
以长江存储为例,2019-2020年长江存储平均每年需要采购约200台薄膜了类设备。其中,国产厂商北方华创PVD供货量仅为20%,国产厂商沈阳拓荆CVD的供货量约为2%-3%,以上足以看出我国在薄膜生长设备领域较低的国产化率。
除了薄膜生产设备较低的国产化率之外,其单一的产品线也使得我国本土厂商与国外巨头之间有较大差距。
根据 Gartner 数据显示:全球CVD市场中排名前五的供应商分别为AMAT(28%)、Lam Research(25%)、TEL(17%)、 Kokusai(8%)、ASM(11%),国外龙头几乎主导了CVD市场。国产厂商北方华为在全球PVD市场的占有率不过3%,在一众外资企业夹缝中求生存、不断突围。
话说回来,虽然我国薄膜生产设备的国产化率较低,但是从目前的发展状况来看,国产厂商发展空间巨大。
一方面由于地缘政治因素的影响,我国对于半导体检测设备国产化替代需求日益增长;另一方面得益于国家政策的大力支持以及国内企业的不断发力,当下中国市场已经成为全球最大半导体设备市场未来拥有相当广阔的发展空间。
这对于中国薄膜生长设备的发展而言有极大的推动作用。可以预见在国家政策支持以及各大薄膜生长设备企业的共同努力之下,我国有望在该领域打破外资的绝对垄断局面。